Счетчики частиц PMS

Мы поставляем счетчики частиц в воздухе, газах, жидкостях и на поверхностях, а также системы мониторинга, контроля чистоты поверхностей фирмы Particle Measuring Systems – PMS (США) мирового лидера в области разработки и производства счетчиков частиц.

Выполняем калибровку счетчиков и обучаем персонал работе с ними.

1. Области применения счетчиков частиц:

2. Счетчики частиц в воздухе

Наименование	Скорость отбора пробы, л/мин	Пороговые размеры частиц, мкм	Число каналов	Принтер	Масса, кг	Размеры, cм
Ручной счетчик частиц
HandiLaz Mini 310	2,8	0,3; 0,5; 5,0	3	Внешний	0,68	11,0x20,0x7,0(h)
Переносные (передвижные) счетчики частиц
Lasair III 310C	28,3	0,3; 0,5; 1,0; 5,0; 10,0; 25,0	6	Встроенный	6,0	30,1х32,7х25,9(h)
Lasair III 350L	50,0	0,3; 0,5; 1,0; 5,0; 10,0; 25,0	6	Встроенный	6,0	30,1х32,7х25,9(h)
Lasair III 5100	100,0	0,5; 1,0; 2,0; 5,0; 10,0; 25,0	6	Встроенный	6,0	30,1х32,7х25,9(h)
LASAIR 101	2,8	0,1; 0,2; 0,3; 0,4; 0,5; 0,7; 1,0; 2,0	8	Внешний	19,0	43,2x35,6x15,2(h)
LASAIR II 110	28,3	0,1; 0,2; 0,3; 0,5; 1,0; 5,0	6	Встроенный	16,0	44,8x35,2x32,1(h)
MICRO LPC HS	2,8	0,05; 0,1; 0,15; 0,2; 0,3; 0,5; 0,7; 1,0	8	Внешний (или ПК)	25,4	63,5x40,6x17,8(h)
MICRO LPC 0710	28,3	0,07; 0,1; 0,15; 0,2; 0,3; 0,5; 0,7; 1,0	8	Внешний (или ПК)	25,4	63,5x40,6x17,8(h)
MICRO LPC 110 TURBO	28,3	0,1; 0,2; 0,3; 0,5; 1,0; 2,0; 3,0; 5,0	8	Внешний (или ПК)	25,4	63,5x40,6x17,8(h)

Для каждого счетчика предусматриваются дополнительные принадлежности.
В их число могут входить сенсоры температуры, влажности, перепада давления, скорости воздушных потоков.
Все счетчики имеют большой объем внутренней памяти (до 3000 измерений в зависимости от типа счетчика).

Наиболее распространенные модели счетчиков

Ручной счетчик частиц в воздухе HANDILAZ MINI

Имеет скорость отбора проб 2,8 л/мин (0,1 фут³/мин) и три канала, которые позволяют одновременно вести счет для всех пороговых размеров частиц: 0,3; 0,5; и 5,0 мкм.
Широко применяется в чистых помещениях классов 6 ИСО, 7 ИСО и 8 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1 (зоны C и D по GMP) в приборостроении, электронной, фармацевтической и других отраслях промышленности. Счетчик свободно размещается в ладони, легок, удобен в работе. Имеет весь функциональный набор, включая возможность подключения к внешнему принтеру. В комплект поставки входит установочный диск и кабель для подключения к компьютеру, данные отбора проб можно сбрасывать в текстовом формате для их обработки. Счетчик имеет буферную память на результаты 10000 проб и автономный источник питания.

Цена до 31.07.2009 г. – 120 тысяч рублей, в т. ч. НДС (склад-Москва).

Есть в наличии на складе.

Переносной счетчик LASAIR III

Модификация счетчика	Пороговые размеры частиц, мкм	Скорость отбора проб, л/мин
LASAIR III 310C	0,3; 0,5; 1,0; 5,0; 10,0 и 25,0	28,3
LASAIR III 350L	0,3; 0,5; 1,0; 5,0; 10,0 и 25,0	50,0
LASAIR III 5100	0,5; 1,0; 2,0; 5,0; 10,0 и 25,0	100,0

На данный момент доступны три модели счетчика LASAIR III со скоростью отбора проб 28,3; 50,0 и 100,0 литров в минуту. Скорость отбора проб 100 литров в минуту позволяет отбирать 1 м³ воздуха за 10 минут. Такая большая скорость отбора проб позволяет использовать LASAIR III в чистых помещениях любых классов чистоты, что особенно актуально в связи с новыми требованиями ГОСТ Р 52249-2009 (Правила GMP).
Данный счетчик используется также при контроле целостности НЕРА и ULPA фильтров, а также для мониторинга концентрации частиц.
Счетчик имеет большой цветной VGA экран размером 8,4 дюйма с сенсорным управлением. Имеет встроенный принтер и возможность обработки данных в соответствии со стандартом ГОСТ ИСО 14644-1 и новыми требованиями правил GMP (Приложение 1). Имеет весь набор функций для контроля чистых помещений, а также возможность управления счетчиком в режиме удаленного доступа.
В LASAIR III установлена поддержка русского языка для меню экрана и распечатки принтера. Обеспечивается тихая работа помпы.

Счетчик частиц LASAIR II 110

Первый счетчик частиц с лазерным диодом, имеющий скорость отбора пробы 28,3 л/мин (1,0 фут³/мин) и нижний пороговый размер частиц (чувствительность) 0,1 мкм. Имеет шесть каналов от 0,1 мкм до 5,0 мкм. Незаменим в электронной промышленности в чистых помещениях классов 5 ИСО, 4 ИСО, 3 ИСО и т. д. Обнаруживает больше частиц с размерами ≥ 0,1 мкм, чем аналоги. Прост в обслуживании, долговечен, надежен. Имеет полный комплект принадлежностей.

3. Счетчики частиц в жидкостях

Счетчик HSLIS

Предназначен для электронной и других высокотехнологических отраслей промышленности, обеспечивает мониторинг загрязнений в реальном масштабе времени по частицам с размерами:

≥ 0,05 мкм в деионизованной воде;
≥ 0,065 мкм в технологических жидкостях.

Скорость отбора проб 100-300 мл/мин. Выпускаются также счетчики частиц в агрессивных (вызывающих коррозию) жидкостях и спектрометры частиц.

Система APSS (APSS-2000)

Шприцевая система отбора проб APSS-2000 предназначена для определения размеров и подсчета числа взвешенных частиц в различных жидкостях.
Система APSS-2000 состоит из шприцевого пробоотборника SLS-1000, спектрометра для анализа в объеме жидкости LiQuilaz® E20P или Е15Р.
В систему входит программное обеспечение SamplerSight-Pharma, соответствующее действующим правилам FDA-21-CFR-11 «Электронные записи и подписи».
Особенности:

чувствительность от 1,5 до 125 мкм,
15 выбираемых каналов по размерам частиц,
соответствует и превосходит требования USP, EP и JP,
отбор проб от 0,4 мл до 1 л,
отбирает пробы пенящихся жидкостей,
имеет автоматическую калибровку сенсора

Мониторинг состава полировочной пасты «на линии»

Для мониторинга распределения размеров зерен алмазной полировочной пасты (0,03 – 5,0 мкм), применяемой при механической полировке пластин в микроэлектронике, используются специальные счетчики частиц SlurryAlert и SlurruChek.

4. Контроль чистоты поверхностей

Фирма PMS выпускает различные приборы для контроля чистоты поверхностей:

AiM 100 – монитор молекулярных загрязнений на поверхности (кремниевых пластин или металлов), < 0,02 нг/см²;
AiM-FT – монитор молекулярных загрязнений в газах и на поверхностях (при проведении фотолитографии, изготовлении оптических изделий, жидкокристаллических дисплеев и пр.);
Surfex – установка для определения чистоты поверхностей деталей сложной формы. Включает в себя ультразвуковую обработку, счет частиц (0,2; 0,3; 0,5 и 2,0 мкм), работу с ультрачистыми жидкостями и программное обеспечение.

5. Фирма PMS

Фирма PMS (США) является мировым лидером в разработке производства счетчиков частиц в воздухе, газах, жидкостях и на поверхностях.

Благодаря крупным вложениям в исследования и разработку приборов, фирма PMS находится на переднем крае технического прогресса. Ее приборы имеют наиболее высокую чувствительность и эффективность счета. Хорошо отлаженное серийное производство обеспечивает массовый выпуск продукции высокого качества и надежности. Фирма имеет разветвленную сеть обслуживания во всех странах мира.

Инвар является эксклюзивным представителем компании PMS в России и СНГ, проводит обучение персонала работе с приборами, техническое обслуживание и калибровку.